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氧化锌知识
用热处理来增强氧化锌中的氮掺杂
发布时间:2017-12-22 16:19
作者:
氧化锌
氧化锌
厂经过热处理来增强
氧化锌
中的氮掺杂的研究工作现已打开。运用光致电子顺磁共振技能(EPR),并在空气或许氮气氛下在600-900温度范围内退火,在运用该方法制备的氮掺杂氧化锌晶体中,调查到了氮受主的构成。这一成果的原因是N在热退火过程中替代为浅的施主杂质。
固源化学气相淀积法(SS-CVD)也可以用来氧化锌的N掺杂。二水醋酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)别离作为固体源和N源。试验成果的样品显示出P型导电性,空穴浓度为9.8×1017 cm?3,电阻率20Ωcm,空穴迁移率0.97cm2 /V s。
虽然上面报道说现已成功的获得了N掺杂的氧化锌薄膜,但也有相当多的报道,作者没有可以重复这些成果,即便选用相同的成长方式,相同的成长条件和相同的N源。因而,即便以为该陈述的成果表明是真实的p型氧化锌,重现这些成果仍是一个大问题,而且这个问题必须得在氧化锌应用于光电子学,如同质结LED和激光二极管(LDs)之前处理。最后,这个问题至少比及高效率注入的ZnO的p - n结才干处理。
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